1，多晶硅gate宽度达到28nm；
2，干法等离子体刻蚀时深宽比达到10:1以上


【 在 littleSram 的大作中提到: 】
: 今天准备和朋友打个赌，赌三年28nm光刻机能不能造出来。
: 可是问题来了，怎么判断是否造出来了呢？
: 问chatgpt，说中国已经造出来28nm的光刻机了。
: ...................
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