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主题:Re: 建议由西工大、西交、西电、哈工大联合攻关商用光刻机
woshikobe
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2023-02-05 18:38:42
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好的,这些情况确实不太了解。赞同这几所洋奴少
【 在 titaurusy 的大作中提到: 】
: 西交研制过光刻机。
: 西交等离子体研究在世界上也是领先的,
: 这个可以应用于dry etch,
: ...................
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