【 在 NorthWestPAK 的大作中提到: 】
: 谁说哈工大不参与研制的？你不知道就是不参与研制吗？？？ 哈工大干EUV可早了去啦，和这些光机所相比，哈工大才是超精密加工妥妥的国家队。。。
就这？还学位论文？你是在搞笑吗？
并且就这么一页纸里面有一个字能说明哈工大在搞EUV吗？
当然做为中国人我希望哈工大有这个实力，但是国内唯一在做你理解的光刻机的实体就一家，貌似没有和哈工大有什么联合研制规划，但是做为二十多年就布局的国家重大专项，国内有这么厉害的资源，没理由放着不用，二十年前就懂光刻机的人你觉得傻吗？
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