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主题:Re: 先进制程多电子束光刻机的可实现性和市场前景怎么样?
Engelberger
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2023-02-17 18:45:31
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解决mask制造嘛。
如果拿来制造芯片呢?比激光光源有掩膜光刻机大概会慢多少?
【 在 makemyday 的大作中提到: 】
: multi beam不是mask writer吗?
: vsb的完美替代,要是弯道超车的从这抄
: 可以不用精力浪费在注定要淘汰的vsb机器上
: ...................
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