首先不能用有机溶剂，因为要跟光刻胶接触，不能溶解、破坏光刻胶。
要跟镜头接触，不能沾污镜头。
镜头运动速度很快，要能跟上镜头移动。
【 在 phoenixhills 的大作中提到: 】
: 为什么浸入式光刻机只是用水  
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