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主题:Re: 外置同步辐射光源+简化光刻机的可行性及成本分析 (转载)
Zinux
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2023-09-09 10:37:08
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理论上没啥限制,环状蓄能环可以在任意切线方向接出光源
主要看转换率,想多支持几台光刻机,输入功率搞大点就是了
出于总输出功率的考虑,可以搞成圆角六边形或者十二边形,支持6/12台EUV
圆角处接出光源,直边用于加速,或许效率更高些
【 在 dragonfly112 的大作中提到: 】
: 一座同步辐射源,理论上最多能够为多少台EUV提供高功率光源?
--
FROM 123.114.95.*
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