不错，我已经进步到和学阀扯上了，某论坛还只说我和Intel某前项目有关
随便你，我本来就只是感兴趣，然后研究了一些文章和相关论文

日本Ryukou Kato的ppt我看了，相关ppt也附在贴里了
我说了不是相关专业，所以上一篇构想文章对具体数据不了解，没法评估商业可行性。
正因为看Kato ppt，里面提到当前的能量转换率，所以我才可以进一步估算成本。
你在这加什么戏呢？

先利用现有设备做验证，走共享路线，这不就是我一直倡议的吗？
我主要强调一点，国内研发队伍可能觉得现在转换率太低，总想通过EEHC/SSMB等各种方式提高转换率后再做商用EUV。但我希望估算数据能表明，即使用现成的低转换率，通过光源共享的方式，仍有可能做出一个商业上可接受的EUV方案。优化转换率和Fab产线尝试可以同步推进，能节约大量成本和时间。

我在ITExpress也说了最简单的就是利用上海SSRF+FEL，先进行DUV光源的替换实验，验证商业可行性。这是最节约启动成本的方式。如果SSRF的指标不合适，可以考虑在建的HEPS。
这些同步辐射本身就有很多线束站在做实验，直接拉条出来加个FEL做商用尝试，是完全可行的。不需要启动什么大的研究项目，甚至Fab的横向课题就够了。

【 在 ibm221 的大作中提到: 】
: 还有一个可能就是你是来给某个学阀团体造势，
: 这里面的猫腻就是，
: 本来最优路径是先利用现有设备做验证，走共享路线等
: ...................
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