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主题:Re: 外置同步辐射光源+简化光刻机的可行性及成本分析 (转载)
ibm221
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2023-09-11 10:12:13
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asml 显然没有加速器基础,
另外卖起来太费劲,
类似于卖鱼塘和卖鱼肉的区别,
赚钱大头给同步光源了,自己不划算
当然不排除还有些技术问题他也说不清楚,
具体你也可以去搜下日本人的报告
【 在 dragonfly112 的大作中提到: 】
: 美国为什么最终没采用这种方案呢?
:
:
--
修改:ibm221 FROM 192.102.205.*
FROM 192.102.205.*
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