这问题已经在ITExpress回答过了，我认为就是一种技术惯性
Cymer和此前的光刻机厂商都是走内置光源路线的，当然不会搞个庞大的同步辐射光源
【 在 dragonfly112 的大作中提到: 】
: 美国为什么最终没采用这种方案呢？
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