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主题:Re: 据说同步辐射光刻的主要难点是 去相干?
beinghalf
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2023-09-16 14:07:13
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这种级别的技术难点,对国内就不算事儿,国人难的是系统工程,因为光刻系统过于复杂,只有华为这种执行力和背靠国家无限资金流才能落地
【 在 woolgather 的大作中提到: 】
: 因为同步辐射光是 准相干
: 直接用于光刻 会出现干涉条纹
: 要去相干
: ...................
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