我看科普，euv激发出极紫外也不纯净，需要一系列透镜进行筛选频率，
【 在 modelfree 的大作中提到: 】
: 我也是看了一些文章，里面提到目前光刻机卡脖子的地方，就是在于极紫外波长的光源很难产生。
: 此加速器可把电子加速到高能级，向下跃迁到低能级时辐射各种波长的光，由此可以解决极紫外波长的光源的问题。
:
--
FROM 124.127.24.*