光刻机就2块，一个曝光机，一个伺服载物台
这两块又有相关性，曝光快门越快，对伺服要求越低，反过来伺服技术越高，对曝光速度要求越低
总得来说，技术路线是往曝光速度快的方向走的、
曝光快门速度快了，这能量密度就得大，光源就得牛b。
所以光刻机的核心技术实际上就是光源。
光刻厂如果真的实现了，能量密度很容易就上去了，快门可以极快，多轴伺服系统要求就很低了，就是低科技了，几十万块钱一套的都能用。
【 在 anglefly123 的大作中提到: 】
: 也就那样，我在上海微电子干过，以前是买了一台asml的机器，拆啊，，，，你懂的，，这又不是难事....
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