有新闻的原文链接吗？
我搜到的都说这个是“金凸块封测光刻机”，不是做前道工艺用的？
【 在 blacksand 的大作中提到: 】
: 标 题: 号外！国产EFE-12光刻机3月10日成功量产发货交付使用
: 发信站: 水木社区 (Sun Mar 24 19:55:27 2024), 站内
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: 兼容12英寸晶圆，可用于45nm,28nm芯片制造！
: [upload=1][/upload]
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: ※ 修改:·blacksand 于 Mar 24 19:59:32 2024 修改本文·[FROM: 219.236.129.*]
: ※ 来源:·水木社区
http://www.mysmth.net·[FROM: 219.236.129.*]
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修改:blacksand FROM 219.236.129.*
FROM 115.171.60.*