考验套刻精度咯
SMIC买过1980Di
193nm ArF浸润式分辨率38nm
这个做四重曝光还OK
八重曝光就不够了
四重曝光精度是38nm / 4 = 9.5nm
这个是7nm制程的鳍片宽度的范围
【 在 earthmouse 的大作中提到: 】
: 理论上DUV多重曝光也可以，良率问题。
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修改:tgfbeta FROM 60.24.248.*
FROM 60.24.248.*