基于多重曝光的DUV技术搞出来的5nm是没办法和EUV对抗的
成本良率和发热都不行，只能说先解决有无问题
最终还是要搞出EUV才行
【 在 blacksand 的大作中提到: 】
: 反正自己的生产问题解决了。菊花自制5nm十月份就出货了。
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