光刻机是一种印刷术，不管什么原理，你要做的实际上就是缩小和复现，并不容易
当然你可以用电子束刻蚀，但是那是天价的玩意，等于你在书写而不是印刷

【 在 lucaoliang (卫同学) 的大作中提到: 】
: 光刻机系统是非常复杂的，这种复杂其实是源于一个简单原因就是利用极紫外光线的特性，欧美还是希望能够找到其它的更好的光源以便简化复杂系统，另外这个复杂系统本身也有可能简化或提升，越是复杂系统，这里面变化越多，实现某种突破的可能性越大，反倒是越是简单的系统
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