电源不稳定。啥都会完蛋。
但电源在整个光刻机系统中也是技术含量相对低的那部分

【 在 watchdogs 的大作中提到: 】
: 一看就是没有干过活的工程师。
: 电源不稳定，光刻机一下就完蛋。
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