这都是初级的油泵，半导体设备都是干泵+分子/离子泵~
【 在 gloream 的大作中提到: 】
: 那比一般机械油泵小7-8个数量级，比扩散泵小3-4个数量级。
: 【 在 walter119 (兵大) 的大作中提到: 】
: : 10-8次pa
: ....................

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