太阳光不是相干光，光束质量太差，或者说聚焦性能差，不能用作光刻机光源。
【 在 ericfu 的大作中提到: 】
: 需要可以过滤20nm以上波长的材料，或者是设备。我觉得某种晶体结构有可能，这要是搞出来，诺贝尔奖稳了。
: 加了一张太阳的极紫外光谱。
: 又加了一张太阳精确极紫外成像。
: ...................
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