1,太阳光不是平行光,夹角0.53度,也就说其聚光比也就四五万倍,做到这一点,还要牺牲其张角,聚光光束的光锥角变大也就不能用于光刻
光刻机既要激光的波长,也要强度,更要发散角控制
光刻机为了实现上述三点不惜浪费巨大的能耗和包络空间
为了200W输出,需要MW级的功耗,为了平行度,十来次反射,尽管折叠光路,个头也大的塞满一个房间,只是为了拍照瓜子壳那么大的晶硅面
【 在 ericfu 的大作中提到: 】
: 用太阳光进行光刻的另一点考虑就是阳光是由核聚变产生,是天然的高能平行光束,这一点无可比拟,上面某BC怀疑的聚光可由高精度反射镜完成。
: 比起聚光太阳能发电,聚光太阳能光刻才是真正的高科技。
: 当然,在这之前要解决滤光问题,我觉得其实也不是问题,用100nm的金属孔就可以滤掉大部分光了,只是这种材料制备是个问题。
--
FROM 222.129.0.*