双工作台方面：

哈工大在2022年成功研发出真空用超高精度激光干涉仪，位移分辨力5pm，位移测量标准差达到30pm，接近于ASML的最高水平，达到了EUV光刻机的要求。

哈工大的测量误差也才 30pm


【 在 ericfu 的大作中提到: 】
: 我指着它在行业立足，所以在那之前什么专利，论文，一个字也不会提
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