还有你这个问题唬唬圈外人就算了，我直接丢给你一个公式吧
CD=k1×λ/ NA
【 在 ericfu 的大作中提到: 】
: 本人第一民哲，你是不是觉得只有激光能光刻？光刻跟激光没有一根毛的关系，这样，我也反问一下，你觉得如果用0.1nm到10nm的平行光，和13.6nm的EUV哪个分辨率高？
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