这个脑洞可以
建议众筹点经费
去西藏搞个原型机

euv 光源是plasma



【 在 ericfu 的大作中提到: 】
: 本人第一民哲，你是不是觉得只有激光能光刻？光刻跟激光没有一根毛的关系，这样，我也反问一下，你觉得如果用0.1nm到10nm的平行光，和13.6nm的EUV哪个分辨率高？
--
修改:ibm221 FROM 175.171.20.*
FROM 42.84.232.*