- 主题:光刻机到底有没有搞出来啊？哪位知情的大牛出来说说
193nm是光源，asml的ARF也是193nm。
【 在 interaction 的大作中提到: 】
: 封装的早就出来
: 这个193nm也就20年前国外的水平，当然了精度和重复性还未知
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FROM 223.104.39.*
那你不能看到193nm就说是20年前水平啊，asml今天也是arf193nm。
【 在 interaction 的大作中提到: 】
: 当然了，ArF，我在中芯国际的时候搞这玩意
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FROM 223.104.39.*
euv和duv又不是排斥性的，现在一样有duv
【 在 fagus 的大作中提到: 】
: 现在是euv，
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FROM 117.133.66.*