光刻机到底有没有搞出来啊？哪位知情的大牛出来说说

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主题:光刻机到底有没有搞出来啊？哪位知情的大牛出来说说
1楼|interaction|2024-09-17 12:20:54|展开
封装的早就出来
这个193nm也就20年前国外的水平，当然了精度和重复性还未知

【在 fuhao6688 的大作中提到: 】
: 网上现在是众说纷纭，没有一个权威的声音 ...
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5楼|interaction|2024-09-17 13:49:10|展开
当然了，ArF，我在中芯国际的时候搞这玩意
【在 MachvPicchv 的大作中提到: 】
: 193nm是光源，asml的ARF也是193nm。
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