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作为中科院微电子所最新一代晶体管射频电源(rf generator)具有：
1.控制方式更灵活：全数字面板/模拟口/RS232/RS485/USB控制
2.使用寿命更长,功率控制更精密,功率输出更稳定,频率精度更高
3.真彩色大屏幕液晶显示正向功率反向功率
4.最低可实现1W的稳定功率输出
5.开机无需预热
6.具有外部时钟同步(CEX)功能，可同步多台电源并克服之间的相互干扰

现已广泛应用于半导体工艺；LED与太阳能光伏产业；科学实验中的等离子体发生；感应加热；医疗；消毒清洗等。


网址:www.rf-power.net





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