23年的评论:
目前在做CVD钻石的异质外延,用单晶Ir基板生成单晶钻石薄膜方面的研究。其实我们这些做CVD钻石薄膜的都有一个梦想,就是能做出能够被使用的钻石半导体基板。钻石半导体可以说是在功率半导体里面天顶星的材料了,但是碍于生长面积和n掺杂困难,目前还没发量产。生长钻石的方向无非就两个hpht和cvd。hpht做薄膜基本被判死刑了,能做到的只有cvd。碍于晶格常数,温度等原因,能长成大面积高品质单晶钻石薄膜的方式只有用Ir(黄金价格的三倍 pt矿提炼时候的副产物 好像全球一年产量才70吨 地表最稀少的金属元素)才能做到。如果用蓝宝石或者mgo用作基板,表面进行Ir镀膜的话,会因为三者的杨氏模量不同,温度下降时钻石薄膜会很容易破裂,很难形成大面积不带曲率的钻石。所以目前在研究用单晶Ir生成钻石,但是单晶铱(熔点高 如果用cz法制取的话很难找到合适的坩埚。fz法的话这玩意密度又很高很难制成单结晶)的制备目前还没有参考,只能说路漫漫吧。
【 在 chenpp 的大作中提到: 】
: 有现成的在硅片上生长金刚石的工艺么?
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