- 主题:请问，cr掩膜与硝酸铈铵&醋酸反应后的生产物是什么，哪里可以查
在刻蚀工艺中，经常要用硝酸铈铵与醋酸的混和液去刻蚀cr掩膜，但不知道这一过程发生
了什么样的化学反应，又生成了什么样的物质，我不是学化学的，请问哪里可以查道这以
反应的化学反应方程式啊？谢谢～！
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FROM 210.72.9.*
就是Cr被氧化成三价的Cr3+离子被
生成的物质是混合物，很复杂
【 在 eplain (eplain) 的大作中提到: 】
: 在刻蚀工艺中，经常要用硝酸铈铵与醋酸的混和液去刻蚀cr掩膜，但不知道这一过程发生
: 了什么样的化学反应，又生成了什么样的物质，我不是学化学的，请问哪里可以查道这以
: 反应的化学反应方程式啊？谢谢～！
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FROM 218.18.225.18
那有没有生成Cr6+呢？
【 在 c2h2c2h2 (飞飞飞扬) 的大作中提到: 】
: 就是Cr被氧化成三价的Cr3+离子被
: 生成的物质是混合物，很复杂
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FROM 210.72.9.*