你是说理论上溅射比蒸镀更致密电阻更小?
我上次拿去溅射和蒸镀各10片，都要求100nm厚，结果测的电阻溅射的比蒸镀的大三倍
我就怀疑是不是他们没有给我镀够厚度

【 在 lieut77 (复员中尉) 的大作中提到: 】
: 理论上应该溅射吧
: 但是实际应用中，两者最后可能都要退火，电阻差别不是那么大？
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