银能用什么化学试剂腐蚀？谢谢！
假定光刻条件，一般几十nm的厚度。腐蚀速率差不多要求10—100nm/min。
太快太慢都不好掌握。温度也不能太高，50度之内吧。煮沸腾那种，是不是速率很难控制。
稀硝酸+双氧水，室温，有没效果？
谢谢！
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