应该可以。
硝酸铁可能也可以。速度得去试。
为啥不考虑激光？可能速度更好控制。

【 在 xheliu 的大作中提到: 】
:
: 银能用什么化学试剂腐蚀？谢谢！
: 假定光刻条件，一般几十nm的厚度。腐蚀速率差不多要求10—100nm/min。
: 太快太慢都不好掌握。温度也不能太高，50度之内吧。煮沸腾那种，是不是速率很难控制。
: 稀硝酸+双氧水，室温，有没效果？

#发自zSMTH@TA-1000
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