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主题:Re: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些? (转载)
dashudashu
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2024-10-28 13:03:14
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那就自己上个激光干涉仪测量一下,然后修正补偿一下呗
【 在 Arptor 的大作中提到: 】
: 你说的是分辨率,不是绝对精度。 MicroE我手上还有10nm的读头。MicroE的玻璃尺也是
: 1um的,金属尺是5um
:
: ...................
--
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