- 主题:【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？ (转载)
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发信人: FlytoSkyBoy (I Want to Fly!), 信区: NewExpress
标 题: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？
发信站: 水木社区 (Mon Sep 30 08:18:50 2024), 站内
一个工件移动了0.1毫米左右，如何准确测量出它移动的精确位移，比如是99.9微米，或
者100.1微米
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FROM 223.166.142.*
电感行不？
【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
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: 发信人: FlytoSkyBoy (I Want to Fly!), 信区: NewExpress
: 标 题: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？
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FROM 39.149.15.*
光学方法就足够，都用不着上电容。
光谱共焦传感器，大概3-4万一个。
【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
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: 标 题: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？
: 发信站: 水木社区 (Mon Sep 30 08:18:50 2024), 站内
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FROM 106.37.77.*
光栅尺。
【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
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: 发信人: FlytoSkyBoy (I Want to Fly!), 信区: NewExpress
: 标 题: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？
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FROM 101.229.189.*
电容哪儿能和光学比啊？
国产的共聚焦2w左右
【 在 dormouseBHU 的大作中提到: 】
: 光学方法就足够，都用不着上电容。
: 光谱共焦传感器，大概3-4万一个。
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FROM 220.196.192.*
要达到0.1um，首先你要搞清楚你说的是分辨率还是绝对精度的关系，你的具体应用和目的是什么，是否还有重复度要求，如果随便一句0.1um，只能说你不知道你在说什么。其次要说预算。
【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
: 发信人: FlytoSkyBoy (I Want to Fly!), 信区: NewExpress
: 标 题: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？
: 发信站: 水木社区 (Mon Sep 30 08:18:50 2024), 站内
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FROM 171.107.174.*
当然是绝对精度，你没看到我的描述吗？就是为了区分这两者特意加的。
【 在 Arptor 的大作中提到: 】
: 要达到0.1um，首先你要搞清楚你说的是分辨率还是绝对精度的关系，你的具体应用和目的是什么，是否还有重复度要求，如果随便一句0.1um，只能说你不知道你在说什么。其次要说预算。
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FROM 223.166.142.*
绝对精度？你知道这4个字加上0.1um是什么吗？不要肆意增加难度。
你有恒温恒湿环境？你有超精密的操作素养和经验？
你还没说预算，别说2000啊
【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
: 当然是绝对精度，你没看到我的描述吗？就是为了区分这两者特意加的。
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FROM 171.107.174.*
绝对数值可不便宜啊，要跟标准器校准
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FROM 60.1.13.*
他这个量程只要0.1mm，精度0.1um不算高，误差不超过1e-3就行。热膨胀系数在1e-5这个量级，所以他这个应用热胀冷缩的影响没那么显著。
【 在 Arptor 的大作中提到: 】
: 绝对精度？你知道这4个字加上0.1um是什么吗？不要肆意增加难度。
: 你有恒温恒湿环境？你有超精密的操作素养和经验？
: 你还没说预算，别说2000啊
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FROM 123.113.228.*