- 主题:【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些? (转载)
你说的是分辨率,不是绝对精度。 MicroE我手上还有10nm的读头。MicroE的玻璃尺也是
1um的,金属尺是5um
【 在 dashudashu 的大作中提到: 】
: 我看我这乙方公司用的microe公司的,刚好100nm
--
FROM 116.9.116.*
那就自己上个激光干涉仪测量一下,然后修正补偿一下呗
【 在 Arptor 的大作中提到: 】
: 你说的是分辨率,不是绝对精度。 MicroE我手上还有10nm的读头。MicroE的玻璃尺也是
: 1um的,金属尺是5um
:
: ...................
--
FROM 36.112.196.*
再请教你说的另外两个传感器品牌
【 在 dashudashu 的大作中提到: 】
: 那就自己上个激光干涉仪测量一下,然后修正补偿一下呗
--
FROM 116.9.116.*