- 主题:【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？ (转载)
他在特快要求5cm行程
【 在 dormouseBHU 的大作中提到: 】
: 他这个量程只要0.1mm，精度0.1um不算高，误差不超过1e-3就行。热膨胀系数在1e-5这个量级，所以他这个应用热胀冷缩的影响没那么显著。
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FROM 171.107.174.*
看目标尺寸、行程
小目标小行程用个差分电容就行，几百几千就成
【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
: 发信人: FlytoSkyBoy (I Want to Fly!), 信区: NewExpress
: 标 题: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？
: 发信站: 水木社区 (Mon Sep 30 08:18:50 2024), 站内
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FROM 39.144.84.*
光栅, LVDT, 应该都可以做到nm级别
【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
【 以下文字转载自 NewExpress 讨论区 】
发信人: FlytoSkyBoy (I Want to Fly!), 信区: NewExpress
标 题: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？
发信站: 水木社区 (Mon Sep 30 08:18:50 2024), 站内
一个工件移动了0.1毫米左右，如何准确测量出它移动的精确位移，比如是99.9微米，或
者100.1微米
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FROM 124.16.158.*
泛泛讲指标没啥意义
可行的方法必然是要针对具体情况、具体环境、具体使用需求的
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FROM 183.6.26.*
光栅尺，电容传感器，电感传感器，都可以
【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
: 发信人: FlytoSkyBoy (I Want to Fly!), 信区: NewExpress
: 标 题: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？
: 发信站: 水木社区 (Mon Sep 30 08:18:50 2024), 站内
: ...................
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FROM 36.112.200.*
有绝对精度0.1um的光栅尺？龙头雷尼绍和海德汉目录最好只到1微米。
【 在 dashudashu 的大作中提到: 】
: 光栅尺，电容传感器，电感传感器，都可以
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修改:Arptor FROM 116.9.116.*
FROM 116.9.116.*
有绝对精度0.1um的光栅尺？龙头雷尼绍和海德汉目录最好只到1微米。
【 在 xuelu 的大作中提到: 】
: 光栅尺。
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修改:Arptor FROM 116.9.116.*
FROM 116.9.116.*
有的，
【 在 Arptor 的大作中提到: 】
: 有绝对精度0.1um的光栅尺？龙头雷尼绍和海德汉目录最好只到1微米。
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FROM 36.112.196.*
请指教
【 在 dashudashu 的大作中提到: 】
: 有的，
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FROM 116.9.116.*
我看我这乙方公司用的microe公司的，刚好100nm
【 在 Arptor 的大作中提到: 】
: 请指教
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FROM 36.112.196.*