- 主题:有没有用激光当光源的
激光比较好控制,有用它当光源的吗,纯想像觉得用激光做光刻应该在某些方向有很大好处吧
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FROM 111.192.184.*
现在那些DUV EUV 波长的也都是激光吗
【 在 ericking0 的大作中提到: 】
: 呃，一直都是激光；
: 不用电子跃迁，怎么产生确定波长的光？
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为什么激光这种东西不像别的光都是用自己的频率范围命名,激光为什么在各种波长频率下都存在
【 在 ericking0 的大作中提到: 】
: DUV可能还卡在193nm，应该还是电子跃迁的；
: 至于EUV就不知道了；
: 不过可以确定地是卡在激发类光源卡在193nm已经很久了，要么找不到合适地元素，要么
: ...................
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你知道为什么激光在各种波长都存在,但是别的光一般都只在一定波长频率范围内吗
【 在 justmj 的大作中提到: 】
: 光刻使用很多波长的光。 I-line，G-line一般用汞灯，duv有248nm，193nm， 用的是激光。 euv 用的也是激光。在 euv商业化之前，面临的难题之一就是激光功率不够，导致euv光刻机产能低、经济效果差。
: 发自「今日水木 on JSN-AL00」
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FROM 111.192.176.*
懂了,你这么说我就知道什么原理了,从来没搞过光源所以我提的也全是外行问题
【 在 ericking0 的大作中提到: 】
: 呃，都不知道该怎么回答了？
: 这就好像问SUV为啥什么颜色都有，
: 为什么不像黑的车那样都是黑色的，白车都是白色的；
: ...................
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FROM 111.192.176.*
现在国内euv的光源问题是全都解决了吗,我是说用来光刻的这种级别
【 在 tea2java 的大作中提到: 】
: euv由二氧化碳激光把在下落的锡粒上产生
: 发自「今日水木 on PEGM00」
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