- 主题:有没有用激光当光源的
激光比较好控制,有用它当光源的吗,纯想像觉得用激光做光刻应该在某些方向有很大好处吧
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FROM 111.192.184.*
呃,一直都是激光;
不用电子跃迁,怎么产生确定波长的光?
【 在 myspam (mys/梅艳珊/珊珊/Pam/帕姆) 的大作中提到: 】
: 激光比较好控制,有用它当光源的吗,纯想像觉得用激光做光刻应该在某些方向有很大好处吧
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FROM 182.149.203.*
现在那些DUV EUV 波长的也都是激光吗
【 在 ericking0 的大作中提到: 】
: 呃,一直都是激光;
: 不用电子跃迁,怎么产生确定波长的光?
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FROM 111.192.184.*
DUV可能还卡在193nm,应该还是电子跃迁的;
至于EUV就不知道了;
不过可以确定地是卡在激发类光源卡在193nm已经很久了,要么找不到合适地元素,要么
工程上有无法逾越地瓶颈;
【 在 myspam (mys/梅艳珊/珊珊/Pam/帕姆) 的大作中提到: 】
: 现在那些DUV EUV 波长的也都是激光吗
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FROM 182.149.203.*
为什么激光这种东西不像别的光都是用自己的频率范围命名,激光为什么在各种波长频率下都存在
【 在 ericking0 的大作中提到: 】
: DUV可能还卡在193nm,应该还是电子跃迁的;
: 至于EUV就不知道了;
: 不过可以确定地是卡在激发类光源卡在193nm已经很久了,要么找不到合适地元素,要么
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FROM 111.192.184.*
光刻使用很多波长的光。 I-line,G-line一般用汞灯,duv有248nm,193nm, 用的是激光。 euv 用的也是激光。在 euv商业化之前,面临的难题之一就是激光功率不够,导致euv光刻机产能低、经济效果差。
【 在 myspam 的大作中提到: 】
: 激光比较好控制,有用它当光源的吗,纯想像觉得用激光做光刻应该在某些方向有很大好处吧
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: SYSOP提示: 近期,以原地理版版主damoxx(现已杀档)为首的流氓集团疯狂盗号,疯狂注册,我们已经上了很多技术手段进行拦截,然而即便我们已经增加了很多技术手段,但是如果大家的登录密码依旧薄
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发自「今日水木 on JSN-AL00」
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FROM 101.224.126.*
你知道为什么激光在各种波长都存在,但是别的光一般都只在一定波长频率范围内吗
【 在 justmj 的大作中提到: 】
: 光刻使用很多波长的光。 I-line,G-line一般用汞灯,duv有248nm,193nm, 用的是激光。 euv 用的也是激光。在 euv商业化之前,面临的难题之一就是激光功率不够,导致euv光刻机产能低、经济效果差。
: 发自「今日水木 on JSN-AL00」
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FROM 111.192.176.*
呃,都不知道该怎么回答了?
这就好像问SUV为啥什么颜色都有,
为什么不像黑的车那样都是黑色的,白车都是白色的;
【 在 myspam (mys/梅艳珊/珊珊/Pam/帕姆) 的大作中提到: 】
: 为什么激光这种东西不像别的光都是用自己的频率范围命名,激光为什么在各种波长频率下都存在
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FROM 182.149.203.*
懂了,你这么说我就知道什么原理了,从来没搞过光源所以我提的也全是外行问题
【 在 ericking0 的大作中提到: 】
: 呃,都不知道该怎么回答了?
: 这就好像问SUV为啥什么颜色都有,
: 为什么不像黑的车那样都是黑色的,白车都是白色的;
: ...................
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FROM 111.192.176.*
euv由二氧化碳激光把在下落的锡粒上产生
【 在 myspam 的大作中提到: 】
: 激光比较好控制,有用它当光源的吗,纯想像觉得用激光做光刻应该在某些方向有很大好处吧
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: SYSOP提示: 近期,以原地理版版主damoxx(现已杀档)为首的流氓集团疯狂盗号,疯狂注册,我们已经上了很多技术手段进行拦截,然而即便我们已经增加了很多技术手段,但是如果大家的登录密码依旧薄
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发自「今日水木 on PEGM00」
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FROM 223.167.141.*