好像现在的套路是直接上自由电子激光器/同步辐射作为光源
也许上海那帮搞激光的懂
【 在 myspam (mys/梅艳珊/珊珊/Pam/帕姆) 的大作中提到: 】
: 现在国内euv的光源问题是全都解决了吗,我是说用来光刻的这种级别
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