有没有用激光当光源的

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主题:有没有用激光当光源的
10楼|myspam|2021-11-28 22:56:42|只看此ID
现在国内euv的光源问题是全都解决了吗,我是说用来光刻的这种级别

【在 tea2java 的大作中提到: 】
: euv由二氧化碳激光把在下落的锡粒上产生
: 发自「今日水木 on PEGM00」
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11楼|tgfbeta|2021-11-29 00:40:41|只看此ID
好像现在的套路是直接上自由电子激光器/同步辐射作为光源
也许上海那帮搞激光的懂
【在 myspam (mys/梅艳珊/珊珊/Pam/帕姆) 的大作中提到: 】
: 现在国内euv的光源问题是全都解决了吗,我是说用来光刻的这种级别
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