- 主题:据说同步辐射光刻的主要难点是 去相干？
因为同步辐射光是 准相干
直接用于光刻 会出现干涉条纹
要去相干
解决思路之一好像是利用振动
有没有懂的？
感觉也不容易
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FROM 117.154.104.*
懂的不会说，这方面遥遥领先，谨防网军spy
【 在 woolgather 的大作中提到: 】
: 因为同步辐射光是 准相干
: 直接用于光刻 会出现干涉条纹
: 要去相干
: ...................
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FROM 218.247.216.*
没难度，都搞定了
【 在 woolgather 的大作中提到: 】
: 因为同步辐射光是 准相干
: 直接用于光刻 会出现干涉条纹
: 要去相干
: ...................
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FROM 114.242.9.*
哈哈，懂得都懂，不懂的就不告诉你了
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FROM 223.104.213.*
不用波荡器就没相干了。。
这个好解决吧。
【 在 woolgather 的大作中提到: 】
: 因为同步辐射光是 准相干
: 直接用于光刻 会出现干涉条纹
: 要去相干
: ...................
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FROM 114.93.207.*
之前几个月就看网上有帖子说搞定了
细节不懂
【 在 woolgather 的大作中提到: 】
: 因为同步辐射光是 准相干
: 直接用于光刻 会出现干涉条纹
: 要去相干
: ...................
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FROM 120.245.95.*
【 在 woolgather 的大作中提到: 】
: 因为同步辐射光是 准相干
: 直接用于光刻 会出现干涉条纹
: 要去相干
: ...................
因为光刻图案会有大量线条，衍射，当然会有相干。
之前就看到过华为有相关专利。
当时看得莫名其妙，因为确实没想到华为真的搞出euv工艺芯片！牛逼，华为！
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FROM 171.109.183.*
并没有证据华为是用euv做的
【 在 shuimu0691 的大作中提到: 】
: 因为光刻图案会有大量线条，衍射，当然会有相干。
: 之前就看到过华为有相关专利。
: 当时看得莫名其妙，因为确实没想到华为真的搞出euv工艺芯片！牛逼，华为！
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FROM 14.150.39.*
不是，是别吹破牛皮。
【 在 woolgather 的大作中提到: 】
: 因为同步辐射光是 准相干
: 直接用于光刻 会出现干涉条纹
: 要去相干
: ...................
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FROM 183.228.218.*
这玩意可以说是个房地产项目，中国肯定能搞定。
【 在 dffisanangel 的大作中提到: 】
: 之前几个月就看网上有帖子说搞定了
: 细节不懂
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FROM 111.201.76.*