- 主题:金刚石基底芯片的新技术路线
不是沉积出超大晶片,而是在气相沉积出芯片面积后做光刻
现在微米级芯片技术上应该可行吧。
当然还要解决掺杂这另一个难题
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FROM 183.255.219.*
CVD金刚石已经搞出来4寸的wafer片子,都商业化了。你还在想什么啊?
【 在 chaobill 的大作中提到: 】
: 不是沉积出超大晶片,而是在气相沉积出芯片面积后做光刻
: 现在微米级芯片技术上应该可行吧。
: 当然还要解决掺杂这另一个难题
: ...................
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修改:lxku FROM 114.247.223.*
FROM 114.247.223.*
哇,发展这么快, 23年的时候我看到评论说需要铱作为坩埚的
所以我想着 要不要 不先刻后割了。直接套成品芯片上刻,另起路线
【 在 lxku 的大作中提到: 】
: CVD金刚石已经搞出来4寸的wafer片子,都商业化了。你还在想什么啊?
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FROM 183.255.219.*
小日本在这个领域领先,那个公司叫什么来着,你去搜一下吧
【 在 chaobill 的大作中提到: 】
: 哇,发展这么快, 23年的时候我看到评论说需要铱作为坩埚的
: 所以我想着 要不要 不先刻后割了。直接套成品芯片上刻,另起路线
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FROM 114.247.223.*
这种wafer应该用什么材料切割呢?
【 在 lxku 的大作中提到: 】
: CVD金刚石已经搞出来4寸的wafer片子,都商业化了。你还在想什么啊?
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FROM 125.38.176.*
激光
【 在 tgfbeta 的大作中提到: 】
: 这种wafer应该用什么材料切割呢?
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FROM 114.246.236.*