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主题:Re: 主题:提个思路:可否用集成化,并行化电子束光刻,替代euv
PrimeTime
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2020-06-03 09:18:36
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我想问问目前其他级别国产光刻机都有哪些产线上的应用了?
【 在 kits (小步兵) 的大作中提到: 】
: smee,据传目前28nm的工程样机已经通过验收,正式出货是明年。
: #发自zSMTH@华为mate30 pro 5g
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