效率不是低一点，是低太多。掩膜板是电子束直写光刻制造的，14nm的掩膜板几十个小时写一块。duv和euv光刻30秒一片。

【 在 anotherstone 的大作中提到: 】
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: 效率是低点，但能解决有无问题，
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: 结构上简单，量产后，会不会成本也能下来。？
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#发自zSMTH@JSN-AL00
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