90nm级别，可做65nm，45nm？
【 在 dkf5201314 的大作中提到: 】
: 国产光刻机在超净间和foundry用的多吗？
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: 十年前，在苏州某个加工平台，用的suss ml3(忘了型号了），分辨率1um，主要做mems,也够用。有趣的是旁边有一台中科院生产的光刻机，工作人员说性能差不多。但这台机一直摆在这，没有客户使用过。
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