深能级杂质和硅接触了会怎样？最后怎么解决的？同为金属，为啥铜铝在能级上会如此不同呢？



【 在 oyangshan 的大作中提到: 】
: 铜是深能级杂质，要保证整个工艺过程中铜不能和硅直接接触，难度很大，铝没这个问题
--
FROM 123.123.100.*