您需要学习基础知识了 就从浸润式DUV开始吧

【 在 hakensen 的大作中提到: 】
: 窝草不可能吧，这个也得euv了吧，euv波长124nm到10nm之间。duv估计是百纳米级别的，至于几百纳米不太确定
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