浸润能加成十倍么有点悬吧，我知道浸润，估计撑死搞到28，32纳米顶天了，再小光斑变大良率直线下降，这东西有衍射你没辙的
【 在 TDK1 的大作中提到: 】
: 您需要学习基础知识了 就从浸润式DUV开始吧
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