都有了，去年验收就是国产光源不行。美国能卡asml脖子也是现在asml用的euv,duv光源都是美国公司做的。
【 在 HakenHok 的大作中提到: 】
: 光源固然重要更重要的是镜头组有了吗，还有啥高端光刻胶，高精密的机械运动机构的都有了吗
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