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主题:Re: 用同步辐射光源实现EUV弯道超车是可行 (转载)
dragonfly112
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2023-09-08 16:06:03
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连续工作能力怎么样?成本怎么样?高能光束提取有没有什么瓶颈?
这属于用180米长的大刀杀鸡了。
【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 发信人: Zinux (Zinux), 信区: ITExpress
: 标 题: 用同步辐射光源实现EUV弯道超车是可行
: 发信站: 水木社区 (Fri Sep 8 14:12:13 2023), 站内
: ...................
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