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发信人: Zinux (Zinux), 信区: ITExpress
标  题: 用同步辐射光源实现EUV弯道超车是可行
发信站: 水木社区 (Fri Sep  8 14:12:13 2023), 站内

简单看了看同步辐射光源的技术资料
似乎只是一个初期投入大、没法搬动的问题，可以搞个Fab集群，共享同步辐射光源厂，
类似电厂。通过它实现各种波长和大功率的光源输出，且更纯净。

现在ASML的LPP用20万瓦的二氧化碳激光去轰击锡滴来产生300瓦的EUV，然后通过收集镜
，照明反射镜和投影物镜经过11次反射后到达硅片表面，每次反射损耗30%能量，最终到
达硅片的能量只有可怜的300瓦x2%=6瓦。为了解决锡污染，有搞了一堆特殊镜头。然后
为了进一步提高波长，刚上了High NA，就为了将分辨率从13nm降到8nm，避免3nm以下多
重曝光。

我们完全可以一力降十会，大力出奇迹，直接上同步辐射光源。
省掉各种复杂的光路和精度极高的镜片组，直接来上千W的8nm波长。
EUV的三大难点：光源、物镜和工作台，直接跳过前俩，只要保证双工作台的精度就行。

EUV在十几平米内实现一个功率不低的波长极短的光源，属于自讨苦吃。类似于精巧的内燃机，实现复杂且难度极高，能耗也极高。
我们可以把内置光源从光刻机删去，在Fab外部建设几千平米的同步辐射光源厂，实现光源外置和Fab集群的共享。
光刻机则从外部接入合适的功率和波长的光，完成高精度光刻。
将原来EUV这精巧的内燃机，变成“大发电厂+电动机”，大大降低整体设计和生产难度。

而一个同步辐射光源厂的投资并不大，上海同步辐射装置是一台世界先进的中能第三代同步辐射光源，总投资计划12亿人民币，也就是一台EUV的钱而已。

国内现在还想通过SSMB搞同步辐射光源
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黄伟佳介绍了清华大学作为法人单位牵头建设国家重大科技基础设施的相关情况以及稳态微聚束极紫外光源（SSMB-EUV）项目在雄安新区落地的相关情况和近期工作安排；潘志龙向与会人员介绍了SSMB-EUV项目的基本概况和应用前景。

https://mp.weixin.qq.com/s/5IZBlfFYKnmPCSxprFrivg
https://www.tsinghua.edu.cn/info/1175/21516.htm
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修改:Zinux FROM 123.114.90.*
FROM 123.114.90.*